金属蒸汽真空弧离子注入设备与技术(图)

轴承及轴承相关技术文章（轴承供应商网提供） 关键字：轴承, [img]http://img.hc360.com/pf/info/images/200807/080702-10.jpg[/img] 金属蒸汽真空弧（MEVVA）离子注入是一种先进的强流、大面积视线加工处理新技术。设备配置了MEVVA离子源，它将工作介质（各种金属、碳、导电化合物）作为阴极，进行真空弧放电产生高密度等离子体，在高真空静电场下，引出并加速形成高能强流金属离子束，载能离子轰击注入被处理工件表面，引起材料表面成份和结构变化，从而提高耐磨、耐蚀、抗疲劳等性能，达到延长寿命、节约材料和降低成本之目的。由于该技术处理温度较低（ 该技术的关键是MEVVA离子源，该源利用真空弧放电原理产生高密度金属等离子体，经三电极系统引出形成高能强流金属离子束。它能产生几乎所有金属元素和碳的离子束，流强大、束斑大、注入机结构简单紧凑、成本低效率高、工作稳定可靠。[img]http://img.hc360.com/pf/info/images/200807/080702-11.jpg[/img]经金属蒸汽离子真空弧离子注入处理的片铣片 设备主要技术指标： 离子种类：各种金属离子、碳离子 单电荷离子能量：20-50KEV 平均束流强度：50mA 引出直径：φ180mm 靶上束斑直径：φ50mm

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